珠海大力发展光刻胶产业：布局高端DUV光刻胶和EUV光刻胶，打造全国最大产业集群

近日，珠海市工业和信息化局公开征求《珠海市电子化学品产业发展三年行动方案（2025-2027年）（征求意见稿）》意见，明确提出大力发展光刻胶及其配套化学品，积极布局DUV光刻胶、EUV光刻胶等高端领域产品。

政策重点：突破“卡脖子”技术，实现进口替代

方案旨在发展我国电子化学品领域的“卡脖子”技术，实现关键材料的进口替代。为此，珠海将支持引进和培育掌握先进工艺和技术的团队及中小科技企业，推动产业链向高附加值领域升级。光刻胶及其配套化学品是重点发展方向，目标是打造全国规模最大、技术最先进的光刻胶产业集群。

具体措施：聚焦高端光刻胶及配套材料

方案中特别提到要重点发展目前国产化率较低、市场需求较大的高端KrF、ArF深紫外线（DUV）光刻胶。同时，还将向上游延伸，布局树脂单体原材料、光引发剂、高纯溶剂、助剂等配套化学品领域，以形成完整的产业链。此外，方案还提及积极布局电子束胶和极紫外线（EUV）光刻胶等高端产品，显示出珠海在光刻胶领域发展的远大目标。

产业影响及未来展望

光刻胶是芯片制造的核心材料，其技术水平直接关系到我国半导体产业的自主可控能力。珠海此举旨在突破国外技术封锁，提升我国在光刻胶领域的竞争力，对推动我国半导体产业发展具有重要意义。 未来，随着政策的支持和技术的进步，珠海有望成为我国光刻胶产业的重要基地，为国家集成电路产业安全贡献力量。此举也可能吸引更多企业参与到光刻胶产业链中，促进产业的快速发展。 但同时，也需关注技术研发投入、人才培养以及市场竞争等方面的挑战。